| 1). 1素子高感度型 | |||||
| 型 式 | 光検出素子 | 冷却温度 | 出 力 | 信号処理 | 備 考 |
| OP721 | ｱ ﾊ ﾞ ﾗ ﾝ ｼ ｪ・ ﾌ ｫ ﾄ ﾀ ﾞ ｲ ｵ ｰ ﾄ ﾞ | -20〜40℃ | ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ | LFP及び 対温度感度補正 |
ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ |
| OP731 | 〃 | 〃 | ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ及び デジタル |
LFP及び 対温度感度補正 |
ﾌ ｫ ﾄ ﾝ ｶ ｳ ﾝ ﾄ |
| 註). 詳細仕様は打ち合わせ | |||||
| 2). 汎用多素子型(アナログ出力) | |||||
| 型 式 | 光検出素子 | 信号処理 | 備 考 | ||
| OP701 | 2分割・ ﾌ ｫ ﾄ ﾀ ﾞ ｲ ｵ ｰ ﾄ ﾞ | Sig./Ref. (註1) | 検出素子寸法、感度及び 応答速度は打ち合わせによる |
||
| OP702 | 2分割・ ﾌ ｫ ﾄ ﾀ ﾞ ｲ ｵ ｰ ﾄ ﾞ 及び Ref光用 |
Sig./Ref. | 〃 | ||
| OP711 | 4分割・ ﾌ ｫ ﾄ ﾀ ﾞ ｲ ｵ ｰ ﾄ ﾞ | Sig./Ref. (註1) | 〃 | ||
| OP712 | 〃 | Sig./Ref. (註1) 2CH・LPF付 |
〃 | ||
| OP713 | 〃 | Sig./Ref. (註1) 2CH・LPF 2CH・交流分実効値変換 |
〃 | ||
| 註 1). 全ての ﾌ ｫ ﾄ ﾀ ﾞ ｲ ｵ ｰ ﾄ ﾞ入射光量をRef.として、XまたはX・Y軸信号の割り算を行い、 変位を補正する 註 2). 詳細仕様は打ち合わせ |
|||||
| 3). 高感度多素子型 | |||||
| 型 式 | 光検出素子 | 素子冷却 | 出 力 | 信号処理 | 備 考 |
| OP722 | 4分割 ｱ ﾊ ﾞ ﾗ ﾝ ｼ ｪ・ ﾌ ｫ ﾄ ﾀ ﾞ ｲ ｵ ｰ ﾄ ﾞ |
なし | ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ | Sig./Ref. | ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ |
| OP801 | ﾌ ｫ ﾄ ﾏ ﾙ×4本 | なし | ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ | Sig./Ref. | ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ |
| OP811 4分割 ﾌ ｫ ﾄ ﾝ ｶ ｳ ﾝ ﾄ・ ｾ ﾝ ｻ ｰ |
ﾌ ｫ ﾄ ﾏ ﾙ×4本 | なし | ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ 及び ﾃ ﾞ ｼ ﾞ ﾀ ﾙ |
OP711 ｱ ﾝ ﾌ ﾟ部( ｱ ﾅ ﾛ ｸ ﾞ) 及び 専用 ﾃ ﾞ ｰ ﾀ処理部による |
フォトンカウント ｻ ﾝ ﾌ ﾟ ﾘ ﾝ ｸ ﾞ時間 10μｓ〜0.5sec可変 信号分解能 16bit×4CH |
| 註 1). 光検出素子特性その他詳細仕様は別途打ち合わせ | |||||